半导体洁净室建设半导体洁净室的定期维护洁净工程华业供
半导体洁净室的定期维护是非常必要的，清洁人员必须穿着与生产人员一样的洁净服，洁净室的清洁器具，包括拖把，也要仔细选择，一般家庭使用的清洁器具太脏，无法在洁净室使用，而且使用真空吸尘器也要特别注意，在真空吸尘器中的排风系统中，装有HEPA过滤器，现在已经可以在洁净室中使用，许多洁净室有内置式真空系统来减少清洁时产生的脏东西。
擦净工艺工作台需要使用特殊的低污染的抹布与海绵，而且擦拭的程序也是非常关键的，墙面的的擦拭要从上到下，桌面要从后向前，用喷壶喷洒的清洁剂，应喷到洁净布表面，而不是被清洁特表面，虽然这个方法很简单，但可以减少在晶圆与设备上的不必要的过量喷洒，这样洁净室的清洁本身也就成为支质持半导体工艺的辅助技术。
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